![]() ybold 莱宝:从 1850 年走到今天的全谱系真空方案商 Leybold 始创于 1850 年,创始人 Ernst Leybold 在德国科隆起步,是业内历史最悠久的真空泵制造商。1909 年,它做出世界上第一台分子空气泵;此后一个多世纪里,分子泵、扩散泵、干式螺杆泵的技术脉络,很多都能追溯到这家公司。今天的 Leybold 总部仍在德国科隆,2016 年整体并入瑞典 Atlas Copco 集团,归属其真空技术业务领域(Vacuum Technique),与集团内其他真空品牌形成多品牌协同。 与只做单一品类的厂商不同,Leybold 的优势在于全谱系覆盖:从 5×10⁻² mbar 的粗真空旋片泵,到 10⁻⁷ mbar 量级的油扩散泵,再到 3,200 l/s 的磁悬浮分子泵,中间还有干式螺杆泵、爪泵、涡旋泵、多级罗茨泵、罗茨增压泵、低温泵和离子泵,配套真空计、氦质谱检漏仪、残余气体分析仪、真空阀与法兰组件。用一句行业里的说法,一套真空系统里除了腔体,几乎都能在莱宝的样本里找到对应型号。 在半导体与泛半导体领域,Leybold 的强项是工艺前级真空:刻蚀、CVD/PVD、离子注入、封装、平板显示与光伏镀膜产线上,DRYVAC、SCREWLINE、DURADRY 这类干式螺杆泵承担着抽取腐蚀性、粉尘性工艺气体的任务,配合 RUVAC 罗茨泵提升抽速,构成了产线真空系统的 “底座”。干泵的价值不在极限真空,而在连续运转数万小时不结焦、不卡死、能耗可控,这正是莱宝长期积累的工程能力所在。
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